VOLCANO® LB 100UVC Laser Optik - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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VOLCANO® LB 100UVC Laser Optik


 
Laser-Optik-System für eine Laserlinie von 100mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern
 
LB Optiksysteme bestehen aus einer stabilen Aluminiumstruktur und die FALCON XL Linsen zeichnet sich durch einen großen Arbeitsabstand von >200mm aus. Zur Integration ist eine solide Basis notwendig, die dafür sorgt, dass Laser-Optik-Substrat stabil aufgebaut sind. Line Beam Systeme werden mit einem MBC (Manual Beam Control) Kamera System ausgestattet, mit denen die Position und der Winkel der Laserstrahlen (Freistrahlführung) überwacht werden können und nachgestellt werden können. Das FALCON 100XL Design enthält ein oder zwei Fenster, die die Prozesskammer sicher von der Line Beam Optik trennt und Verschmutzungen der Optik verhindert.

 
Die Energiedichte von >500mJ/cm² wird mit 4 TruMicro 7370 in einer 100mm langen Linie mit bis zu 100µm FWHM Breite erreicht (Laserpulsenergie 18mJ).
volcano 100 uvc
VOLCANO LB 100UVC-4 Konfiguration
Anwendungsgebiete
VOLCANO Laser Optik erzeugt eine Laserlinie, die zum Annealing und Kristallisieren dünner Halbleiterschichten, insbesondere von amorphen Si-Schichten eingesetzt wird. Dünne Siliziumschichten von typisch 50nm werden in der Herstellung von Dünnfilmtransistoren (Thin Film Transistor, TFT) in LCD und OLED Flachbildschirmen benötigt.
Technische Daten VOLCANO® 100UVC-4  
Wellenlänge:  
343 n
Linienlänge:
100mm (top-hat-Profil)
Linienbreite:
bis 100µm FWHM (Gaussprofil)
Homogenität:
<= 3% (p2p ~6Sigma)
Energiedichte:
>= 500mJ/cm² @ 100µm FWHM
Pulslänge:
~15-20ns, kann durch verzögertes Triggern der 4 Laserquellen vergrößert werden
Repetitionsrate:
10kHz
Laser:
4x TruMicro 7370, Trumpf Lasertechnik, Germany
Diagnostik:Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode
Andere Liniengrößen und Kofigurationen auf Anfrage.
VOLCANO® Laser Optik besteht aus einem integrierten Abschwächer Modul zur Einstellung der Energiedichte. Darüber hinaus können Leistungsmessköpfe und eine Strahlprofilmessung integriert werden.







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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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