Geschichte - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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Geschichte

Firma

Historie der INNOVAVENT GmbH

Die  INNOVAVENT GmbH ist auf die Entwicklung und Herstellung von Laser-Optik-Systemen spezialisiert, die von Integratoren in Fertigungsanlagen eingebaut werden.
Insbesondere hat sich die INNOVAVENT von Beginn an auf thermische Prozesse in der Halbleiterfertigung und Herstellung von LCD und OLED Displays konzentriert. Dabei spielt die Kristallisation von amorphen Si-Schichten, die zur Herstellung von Dünnschichttransistoren benötigt werden, die zentrale Rolle.
Die INNOVAVENT GmbH ist ein Unternehmen, das
  • Herstellung und Entwicklung von Laser- und Optiksystemen für Laserprozesse
  • Untersuchungen zu neuen Laserprozessen im Applikationslabor
  • Beratung zur Integration und Optimierung von Laserprozessen und Laser- und Optiksystemen anbietet.
Den Schwerpunkt bilden Festkörperlaser- und Optiksysteme bei 266 nm, 343 nm, 355 nm, 515 nm, 532 nm, 808 nm und 1064 nm für thermische Prozesse im cw-, ms- bis ns-Bereich. Besondere Erfahrung liegt vor bei Silizium und anderen Halbleitermaterialien zur Kristallisation dünner Schichten und Aktivierung von Dotierungen, u.a. für Displays, 3-dimensionale Schaltkreise, CMOS-Bildsensoren und IGBT Modulen.

Geschäftsleitung:
Dr. Hans-Jürgen Kahlert
HRB 3716 Amtsgericht Göttingen, UST-ID-Nr. DE813716176

INNOVAVENT
liegt im Norden von Göttingen.


Historie der INNOVAVENT GmbH

2018
 
Innovavent zeigt im Applikationslabor hergestellte periodische Kornstrukturen, die mit SLA (Solid State Laser Annealing, 343nm) in a-Si Schichten für TFT (Thin Film Transistor) von AMOLED-Displays erzeugt wurden.


 
2017
 
Linienstrahloptik wird mit DC+ and DC Optik optional ausgerüstet zur Erhöhung der Schärfentiefe.


2016
INNOVAVENT stellt das neue Produkt VOLCANO LB 750 Laser Optik vor.
 


2015
INNOVAVENT stellt das neue Produkt VOLCANO 250UV Laser Optik vor.


2013
INNOVAVENT bezieht  ca. 220m² Büro und Laborräume im Laserlaboratorium Göttingen e.V.  und baut das Linienstrahlsystem VOLCANO LB 750G mit einem 1,6kW Procyon g1600  (532nm) Festkörperlaser von Powerlase Photonics Ltd. auf. INNOVAVENT verschickt  das erste Produktionssystem VOLCANO® 100UV für Laser-Lift-Off-Anwendungen  aus einem größeren Auftrag an einen asiatischen Kunden.


2012
INNOVAVENT stellt das neue Produkt  VOLCANO® LINE BEAM vor.
VOLCANO® LB Laser Optik setzt fasergekoppelte grüne Hochleistungslaser der britischen Firma Powerlase ein um Linienlängen bis zu 750mm zu erzeugen.


2011
Die INNOVAVENT GmbH gehört  seit dem 1.8.2011  nicht mehr  zum Jenoptik Konzern. Die Zusammenarbeit  mit der Jenoptik Laser GmbH und Optische Systeme GmbH, insbesondere bei der Integration von  Festkörperlasern und Projektionsobjektiven wird fortgeführt.
EO Technics Co., Ltd., Anyang, Korea und Kahlert Technology GmbH  (KTech), Göttingen, Deutschland sind die neuen Anteilseigner der INNOVAVENT GmbH in Göttingen. Der Anteilübergang  auf die KTech fand bereits zum  1.8.2011 im Rahmen eines MBO statt und EO Technics ist seit 6. September 2011 zusätzlicher Gesellschafter und Investor.


2009
Die Produktpalette wurde um  den LAVA® CW Laser Optik Systeme ergänzt.


2007
Im Jahr 2007 wurde gemeinsam  mit dem Geschäftsbereich Lasertechnik der JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH  der Hochleistungsscheibenlaser JenLas® ASAMA auf der LASER-Messe  2007 vorgestellt. Hochleistungsanordnungen der VOLCANO® und LAVA® Laseroptik sind  seit 2005 im Einsatz in Forschung und Industrie.

2005
VOLCANO® and LAVA® Laser-Optik-Systeme werden in Industrie und Wissenschaft  eingesetzt.


2004
INNOVAVENT betreibt ein Applikationslabor, in dem Probebelichtungen und Prozessentwicklungsansätze mit Kunden aus  Forschung und Industrie erprobt werden. Seit Juli 2004 ist die Gesellschaft ein

2003
Die INNOVAVENT GmbH wurde in  Göttingen gegründet.



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