VOLCANO® semi IGBT Laser Optik - Laserverfahren | Innovavent Laseroptics | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

labor
labor
Flagge de
Direkt zum Seiteninhalt

Hauptmenü:

VOLCANO® semi IGBT Laser Optik


Optik System für gepulste 515 nm Laserlinie zur Aktivierung von IGBTs

Laseraktivierung eines IGBT
(auf Basissubstrat).
Aktivierte Bor- und Phosphorkonzentration, gemessen mit SRP (Ref.: FhI ISIT, Itzehoe)
Der Aktivierungsprozess mit der VOLCANO® semi IGBT Laser Optik kann so gesteuert werden, dass die Prozesstemperatur auf eine dünne Oberflächenschicht begrenzt bleibt. Durch geschickte Wahl der Laserstrahlparameter (Pulslänge, Linienbreite, Vorschub) wird die Aktivierungstiefe präzise gesteuert. Die Laserstrahlparameter Pulslänge, Linienbreite und Vorschubgeschwindigkeit (Pulsüberlapp) können variiert werden, um die Tiefe der Aktivierung zu steuern. Im Extremfall kann der Phosphor- Feldstoplayer bis zu einer Tiefe von mehr als 2 µm mit hoher Rate aktiviert werden. Die VOLCANO® Laser Optik kann mit bis zu zwei JenLas® ASAMA 80-8 betrieben werden um hohen Durchsatz zu erreichen.

Anwendungsgebiete
IGBT´s (insulated gate bipolar transistor) werden auf dünn geschliffenen Wafern mit einer Dicke von 100 µm oder weniger hergestellt. Das Handling dieser dünnen, mechanisch instabilen Wafer ist schwierig und kann erheblich vereinfacht werden, wenn sie auf mechanisch stabile Träger „gebondet“ werden. Die derzeit verwendeten Bonding-Materialien haben eine Temperatur - Obergrenze von maximal 300 °C. Das Bonden geschieht, bevor die Rückseite mit Dotierungen für Feldstop- und Emitterlayer implantiert und diese Dotierungen aktiviert werden. Diese Aktivierung kann mit dem VOLCANO® semi IGBT Lasersystem durchgeführt werden, wobei eine Aktivierungsrate sowohl für den Feldstop- wie auch für den Emitterlayer von über 75 % erreicht wird, ohne die Temperaturgrenze des Bondingmaterials zu überschreiten.

Produktmerkmale
VOLCANO® semi IGBT Laser Optik:
1 oder 2 JenLas® ASAMA 80-8 kombiniert mit einer FALCON® Linienstrahloptik.
Technische Daten  

Linienlänge:   
3 - 6 mm (FWHM)
Homogenität:
6 sigma <=5 %
Wellenlänge:
515 nm
Linienbreite:
40 µm FWHM typical
Energiedichte:
max. 5,000 mJ/cm²
Pulslänge:
variabel 300-1.200ns (300-3.000 ns mit VOLCANO® 160)
Laser:
1 resp. 2 JenLas® ASAMA 80-8, 80 W @ 10 kHz
Strahlprofilmessung:
CCD Kamera mit Mikroskopobjektiv

VOLCANO® Laser Optik besteht aus einem integrierten Abschwächer Modul zur Einstellung der Energiedichte, ein schneller Shutter auf Basis eines akustooptischen Modulators (AOM) erlaubt Einzelpulse zu selektieren. Darüber hinaus können Leistungsmessköpfe und eine Strahlprofilmessung integriert werden. Die VOLCANO® Laser Optik zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit (>90 %), Zuverlässigkeit und niedrige Betriebskosten aus.








Kunden Support Center Deutschland für:
EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang,
Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
Innovavent Laseroptics
Innovavent Laseroptics
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Kunden Support Center Deutschland für: EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang, Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics - Letzte Aktualisierung: 19.12.2016
Zurück zum Seiteninhalt | Zurück zum Hauptmenü