VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik - Laserverfahren | Innovavent Laseroptics | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

labor
labor
Flagge de
Direkt zum Seiteninhalt

Hauptmenü:

VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik


Optik System für gepulste 515 nm Laserlinie zur Aktivierung von CMOS Sensoren

Laseraktivierung eines CMOS Sensors.
Der Aktivierungsprozess mit der VOLCANO® semi IMAGE SENSOR Laser Optik kann so gesteuert werden, dass die Prozesstemperatur auf eine dünne Oberflächenschicht begrenzt bleibt. Dabei wird eine hohe Aktivierungsrate und die für Bildwandler nötige Homogenität erreicht, ohne dass die Metallkontakte in Mitleidenschaft gezogen werden. Der Prozess kann entweder ein Festphasenprozess oder ein die Oberfläche aufschmelzender Prozess sein.

Die VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik erzeugt eine Laserlinie von bis zu 36 mm Länge und 5-10 µm Breite mit der Wellenlänge 515 nm. Das Laser Optik System ist für die Integration in Anlagen entwickelt. Als Laserquelle findet der JenLas® ASAMA 80-8 Verwendung. Die optische Anordnung formt eine homogenisierte Linie. Kernstück ist das FALCON® Zylinderlinsen-Objekiv, das die Linie mit Energiedichten bis 2.500 mJ/cm² erzeugt.

Anwendungsgebiete
Rückseitenbelichtete CMOS - Bildwandler sind eine Klasse von Sensoren, die sich durch hohe Empfindlichkeit bei geringer Pixelgröße und damit auch Chipgröße auszeichnet. Der Grund dafür ist, dass Abschattungen durch Kontakte oder andere Strukturen vermieden werden, da die Belichtung von der Rückseite erfolgt. Einsatzgebiete dieser Bildwandler sind z.B. Kameras in Handys oder anderen mobilen Geräten.
Bei diesen CMOS - Bildwandlern muss an der rückseitigen Oberfläche ein pn - Übergang aktiviert werden. In einer Tiefe von einigen µm im Wafer befinden sich Metallkontakte, die nicht über 400-500 °C erhitzt werden dürfen. Ein Hochtemperaturprozess in klassischen RTP - Anlagen ist deshalb nicht möglich. Eine Aktivierung bei niedriger Temperatur erzeugt nur geringe Aktivierungsraten von typisch 10 %.

Produktmerkmale
VOLCANO® semi IMAGE SENSOR Laser Optik:
JenLas® ASAMA 80-8 kombiniert mit einer FALCON® Linienstrahloptik

Technische Daten  

Linienlänge:   
25-36 mm (FWHM)
Homogenität:
6 sigma <=5 %
Wellenlänge:
515 nm und 635 nm (Fokusmonitor)
Linienbreite:
5-10 µm FWHM
Energiedichte:
max. 2.500 mJ/cm² variabel
Pulslänge:
300-600 ns variabel
Laser:
JenLas® ASAMA 80-8, 80 W @ 10 kHz
Strahlprofilmessung:
CCD Kamera mit Mikroskopobjektiv
Fokusmonitor:Wellenfrontmessung „durch die P-Linse“


Kunden Support Center Deutschland für:
EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang,
Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
Innovavent Laseroptics
Innovavent Laseroptics
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Kunden Support Center Deutschland für: EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang, Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics - Letzte Aktualisierung: 19.12.2016
Zurück zum Seiteninhalt | Zurück zum Hauptmenü