VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik


Optik System für gepulste grüne Laserlinie zur Aktivierung von CMOS Sensoren

Laseraktivierung eines CMOS Sensors.
Der Aktivierungsprozess mit der VOLCANO® semi IMAGE SENSOR Laser Optik kann so gesteuert werden, dass die Prozesstemperatur auf eine dünne Oberflächenschicht begrenzt bleibt. Dabei wird eine hohe Aktivierungsrate und die für Bildwandler nötige Homogenität erreicht, ohne dass die Metallkontakte in Mitleidenschaft gezogen werden. Der Prozess kann entweder ein Festphasenprozess oder ein die Oberfläche aufschmelzender Prozess sein.

Die VOLCANO® semi IMAGE Sensor Laser Optik erzeugt eine Laserlinie von bis zu 36 mm Länge und 5-10 µm Breite mit der Wellenlänge 515 nm. Das Laser Optik System ist für die Integration in Anlagen entwickelt. Als Laserquelle findet der TM 7240 Verwendung. Die optische Anordnung formt eine homogenisierte Linie. Kernstück ist das FALCON® Zylinderlinsen-Objekiv, das die Linie mit Energiedichten bis 2.500 mJ/cm² erzeugt.

Anwendungsgebiete
Rückseitenbelichtete CMOS - Bildwandler sind eine Klasse von Sensoren, die sich durch hohe Empfindlichkeit bei geringer Pixelgröße und damit auch Chipgröße auszeichnet. Der Grund dafür ist, dass Abschattungen durch Kontakte oder andere Strukturen vermieden werden, da die Belichtung von der Rückseite erfolgt. Einsatzgebiete dieser Bildwandler sind z.B. Kameras in Handys oder anderen mobilen Geräten.
Bei diesen CMOS - Bildwandlern muss an der rückseitigen Oberfläche ein pn - Übergang aktiviert werden. In einer Tiefe von einigen µm im Wafer befinden sich Metallkontakte, die nicht über 400-500 °C erhitzt werden dürfen. Ein Hochtemperaturprozess in klassischen RTP - Anlagen ist deshalb nicht möglich. Eine Aktivierung bei niedriger Temperatur erzeugt nur geringe Aktivierungsraten von typisch 10 %.

Produktmerkmale
VOLCANO® semi IMAGE SENSOR Laser Optik:
TM 7240 kombiniert mit einer FALCON® Linienstrahloptik

Technische Daten  

Linienlänge:   
25-36 mm (FWHM)
Homogenität:
6 sigma <=5 %
Wellenlänge:
515 nm und 635 nm (Fokusmonitor)
Linienbreite:
5-10 µm FWHM
Energiedichte:
max. 2.500 mJ/cm² variabel
Pulslänge:
300 oder 500 ns
Laser:
TM 7240, 200 W @ 20 kHz
Strahlprofilmessung:
CCD Kamera mit Mikroskopobjektiv
Fokusmonitor:
Wellenfrontmessung „durch die P-Linse“


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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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