VOLCANO® Line Beam 750G Laser Optik
Systeme > Solid State Laser Annealing
Laser Optik für die Herstellung einer 532nm gaußschen Laserlinie bis zu 750mm @ 10 kHz
Die VOLCANO® LB (Line Beam) Laser Optik besteht aus einem Optikmodul, dem die Laserstrahlung über optische Fasern vom Lasermodul zugeführt wird.
Strahlprofil der langen Achse, p2p<=4%
Strahlprofil der Scanachse
VOLCANO® LB 750G Testaufbau mit Procyon g1600
Laboraufbau für Applikationstests
Gen 6 GLA System mit LB 750G Laser Optik
Das Laserlicht wird von einem Faserarray emittiert, mit Zylinderoptiken kollimiert und in die Homogenisierer-Arrays geführt. Die 25-35µm Linienstrahlachse wird von dem FALCON® XXL Zylinderobjektiv erzeugt. Der große Arbeitsabstand von ~200mm und die numerische Apertur (0,25) sind perfekt geeignet um das Laserlicht in einer Prozesskammer zur Substratbestrahlung einzusetzen. Die Linienlänge kann bis zu 750mm betragen. Das Laserlicht wird in optische Quartzfasern eingekoppelt (bis zu 100W pro Faser), die 30 m lang sein können.
Diese Methode ist besonders gut geeignet mehrere Laser (Multiplexing) zuverlässig zu kombinieren und hohe Gesamtleistungen verfügbar zu machen. Darüber hinaus erreicht man damit eine p2p Stabilität und eine Linienhomogenität von σ~0,5% (p2p ~3%), die mit Einzellasern nicht erreicht werden kann.
Diese Methode ist besonders gut geeignet mehrere Laser (Multiplexing) zuverlässig zu kombinieren und hohe Gesamtleistungen verfügbar zu machen. Darüber hinaus erreicht man damit eine p2p Stabilität und eine Linienhomogenität von σ~0,5% (p2p ~3%), die mit Einzellasern nicht erreicht werden kann.
Anwendungsgebiete
Die VOLCANO® LB Laser Optik erzeugt eine gaußförmige Laserlinie, die für die Kristallisation und Aktivierung dünner Halbleiterschichten, z. B. amorpher Si-Schichten verwendet wird. Typisch 50-70nm dünne Si-Schichten spielen eine bedeutende Rolle bei der Herstellung von LCD und OLED Flachbildschirmen. Das grüne Laserlicht kristallisiert amorphes Silizium in eine p-Si-Schicht, die notwendig ist um schnell schaltbare Dünnfilmtransistoren für Flachbildschirme höchster Qualität herzustellen. Die VOLCANO® LB Laser Optik stellt eine 750mm lange Linie her, mit der ELA analoge (Excimer Laser Annealing) p-Si-Schichten (50-100 cm²/Vs) erzeugt werden. Die VOLCANO® LB Laser Optik wird mit zuverlässigen, wartungsarmen Festkörperlasern betrieben (>90% Verfügbarkeit) und hat niedrige Betriebskosten (<20% eines ELA-Systems mit gleichem Durchsatz).
Produktmerkmale
VOLCANO® LB 200G
Procyon g600 fasergekoppelt, FALCON® 200XXL
Projektionslinse (zyl.), 200mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
Procyon g600 fasergekoppelt, FALCON® 200XXL
Projektionslinse (zyl.), 200mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
VOLCANO® LB 470G
Procyon g1400 fasergekoppelt, FALCON® 470XXL
Projektionslinse (zyl.), 470mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
Procyon g1400 fasergekoppelt, FALCON® 470XXL
Projektionslinse (zyl.), 470mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
VOLCANO® LB 750G
Procyon g1600 fasergekoppelt, FALCON® 750XXL
Projektionslinse (zyl.), 750mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
Procyon g1600 fasergekoppelt, FALCON® 750XXL
Projektionslinse (zyl.), 750mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns
| Technische Daten: VOLCANO® LB 200G | ||
Linienlänge: | 200 mm (95%), andere Längen auf Anfrage | |
Homogenität: | 6 sigma <=5 % | |
Wellenlänge: | 532 nm | |
Linienbreite: | 20-30 µm FWHM oder größer | |
Energiedichte: | >=500 mJ/cm² @ 600W (6 x 10mJ, 10kHz) | |
Abschwächer: | 5 - 95 % | |
Laser: | Procyon g600 | |
Pulslänge: | 60-100 ns, längere Pulse durch elektronische Pulsverzögerung | |
Strahlprofil: | CCD Kamera mit Mikroskop-Objektiv | |
| Technische Daten: VOLCANO® LB 750G | ||
Linienlänge: | 750mm (95%), andere Längen auf Anfrage | |
Homogenität: | 6 sigma <=5 % | |
Wellenlänge: | 532 nm | |
Linienbreite: | 30 µm FWHM oder größer | |
Energiedichte: | >=400 mJ/cm² @ 1600W (8 x 20mJ, 10kHz) >=500 mJ/cm² @ 2000W (10 x 20mJ, 10kHz) | |
Abschwächer: | 5 - 95 % | |
Laser: | Procyon g1600 Procyon g2000 | |
Pulslänge: | 60-100 ns, längere Pulse durch elektronische Pulsverzögerung | |
Strahlprofil: | CCD Kamera mit Mikroskop-Objektiv | |
VOLCANO® LB
Laser Optik beinhaltet integrierte Abschwächermodule um die Energiedichte präzise auf dem Substrat einzustellen. Zusätzlich sind Leistungsmessköpfe und ein CCD-Kamera basiertes Strahlprofilmessgerät verfügbar.