VOLCANO® Line Beam 750G Laser Optik - Laserverfahren | Innovavent Laseroptics | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

labor
labor
Flagge de
Direkt zum Seiteninhalt

Hauptmenü:

VOLCANO® Line Beam 750G Laser Optik


Laser Optik für die Herstellung einer 532nm gaußschen Laserlinie bis zu 750mm @ 10 kHz

Die VOLCANO® LB (Line Beam) Laser Optik besteht aus einem Optikmodul, dem die Laserstrahlung über optische Fasern vom Lasermodul zugeführt wird.
diagramm
Strahlprofil der langen Achse, p2p<=4%
diagramm
Strahlprofil der Scanachse
procyon
VOLCANO® LB 750G Testaufbau mit Procyon g1600
volcano
Laboraufbau für Applikationstests
laser
Gen 6 GLA System mit LB 750G Laser Optik
Das Laserlicht wird von einem Faserarray emittiert, mit Zylinderoptiken kollimiert und in die Homogenisierer-Arrays geführt. Die 25-35µm Linienstrahlachse wird von dem FALCON® XXL Zylinderobjektiv erzeugt. Der große Arbeitsabstand von ~200mm und die numerische Apertur (0,25) sind perfekt geeignet um das Laserlicht in einer Prozesskammer zur Substratbestrahlung einzusetzen. Die Linienlänge kann bis zu 750mm betragen. Das Laserlicht wird in optische Quartzfasern eingekoppelt (bis zu 100W pro Faser), die 30 m lang sein können.

Diese Methode ist besonders gut geeignet mehrere Laser (Multiplexing) zuverlässig zu kombinieren und hohe Gesamtleistungen verfügbar zu machen. Darüber hinaus erreicht man damit eine p2p Stabilität und eine Linienhomogenität  von σ~0,5% (p2p ~3%), die mit Einzellasern nicht erreicht werden kann.

Anwendungsgebiete
Die VOLCANO® LB Laser Optik erzeugt eine gaußförmige Laserlinie, die für die Kristallisation und Aktivierung dünner Halbleiterschichten, z. B. amorpher Si-Schichten verwendet wird. Typisch 50-70nm dünne Si-Schichten spielen eine bedeutende Rolle bei der Herstellung von LCD und OLED Flachbildschirmen. Das grüne Laserlicht kristallisiert amorphes Silizium in eine p-Si-Schicht, die notwendig ist um schnell schaltbare Dünnfilmtransistoren  für Flachbildschirme höchster Qualität herzustellen. Die VOLCANO® LB Laser Optik stellt eine 750mm lange Linie her, mit der ELA analoge (Excimer Laser Annealing) p-Si-Schichten (50-100 cm²/Vs) erzeugt werden. Die VOLCANO® LB Laser Optik wird mit zuverlässigen, wartungsarmen Festkörperlasern betrieben (>90% Verfügbarkeit) und hat niedrige Betriebskosten (<20% eines ELA-Systems mit gleichem Durchsatz).



Produktmerkmale

VOLCANO® LB 200G
Procyon g600 fasergekoppelt, FALCON® 200XXL
Projektionslinse (zyl.), 200mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns

VOLCANO® LB 470G
Procyon g1400 fasergekoppelt, FALCON® 470XXL
Projektionslinse (zyl.), 470mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns

VOLCANO® LB 750G
Procyon g1600 fasergekoppelt, FALCON® 750XXL
Projektionslinse (zyl.), 750mm lange und 30µm breite
Linie (FWHM) mit bis zu 500mJ/cm², 60-100ns


Technische Daten: VOLCANO® LB 200G
Linienlänge:  
200 mm (95%), andere Längen auf Anfrage
Homogenität:
6 sigma <=5 %
Wellenlänge:
532 nm
Linienbreite:
20-30 µm FWHM oder größer
Energiedichte:
>=500 mJ/cm² @ 600W (6 x 10mJ, 10kHz)
Abschwächer:
5 - 95 %
Laser:
Procyon g600

Pulslänge:
60-100 ns, längere Pulse durch elektronische Pulsverzögerung

Strahlprofil:
CCD Kamera mit Mikroskop-Objektiv



Technische Daten: VOLCANO® LB 750G
Linienlänge:
750mm (95%), andere Längen auf Anfrage
Homogenität:
6 sigma <=5 %
Wellenlänge:
532 nm
Linienbreite:
30 µm FWHM oder größer
Energiedichte:
>=400 mJ/cm² @ 1600W (8 x 20mJ, 10kHz)
>=500 mJ/cm² @ 2000W (10 x 20mJ, 10kHz)
Abschwächer:
5 - 95 %
Laser:
Procyon g1600 Procyon g2000

Pulslänge:
60-100 ns, längere Pulse durch elektronische Pulsverzögerung

Strahlprofil:
CCD Kamera mit Mikroskop-Objektiv




VOLCANO® LB
Laser Optik beinhaltet integrierte Abschwächermodule um die Energiedichte präzise auf dem Substrat einzustellen. Zusätzlich sind Leistungsmessköpfe und ein CCD-Kamera basiertes Strahlprofilmessgerät verfügbar.







Kunden Support Center Deutschland für:
EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang,
Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
Innovavent Laseroptics
Innovavent Laseroptics
Deutschland, Europa
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
USA, Kanada, Asien
INNOVAVENT GmbH
Reinhard-Rube Str. 4
37077 Göttingen, Germany
Tel.: +49-551-90047-0
Fax: +49-551-90047-19
E-Mail: info@innovavent.com
www.innovavent.com
Taiwan (ROC) and China (PRC)
SuperbIN Company. .Ltd
1F, No. 320,Sec. 1 Nei-Hu Road Taipei
11493, Taiwan (ROC)
Tel.: +886-2-2657-0678
Fax: +886-2-2657-0388
E-Mail: info@superbin.com.tw
www.superbin.com.tw
Japan Optopia Co. Ltd.
611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
www.otopia.co.jp
Kunden Support Center Deutschland für: EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang, Korea 431-803
© 2003 - 2017 INNOVAVENT Laseroptics - Letzte Aktualisierung: 19.12.2016
Zurück zum Seiteninhalt | Zurück zum Hauptmenü