VOLCANO® 250UV Laser Optik - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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VOLCANO® 250UV Laser Optik

Systeme > Laser-Lift-Off

Laser-Optik-System für eine Laserlinie bis 250mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern
VOLCANO 250UV Laser Optik mit 2x TruMicro 7370 UV Festkörperlaser
 
 
Das VOLCANO®  250UV Laser-Optik-System ist auf einer soliden Granitstruktur aufgebaut. Mehrere Laserstrahlen können kombiniert werden, um die Linienlänge und Energiedichte zu erhöhen. Die Strahlen werden unabhängig voneinander verarbeitet und in einem speziellen Homogenisierer überlagert. Die kombinierten Strahlen werden zu einer Linie von bis 250mm Länge homogenisiert mit einer Breite von 20-30µm FWHM. Das FALCON 250UV Objektiv erzeugt eine gleichmäßige Linienbreite über die gesamte Länge die für die Massenproduktion unverzichtbar ist.

Anwendungsgebiete

Laser-Lift-Off-Verfahren werden in der Elektronikindustrie für die Herstellung flexibler und leichter OLED Displays für Fernsehbildschirme, Smartphones, Smartwatches und Tablet-Computer eingesetzt. Das OLED Display  wird auf einer Polymerfolie, die auf ein Glassubstrat aufgeklebt ist, hergestellt. Das fertige Display auf der Polymerfolie wird mit dem UV-Laserstrahl vom Glassubstrat gelöst.

Technische Daten: VOLCANO® 250UV-2
Wellenlänge:
343 nm
Linienlänge:
250mm (top-hat-Profil)
Linienbreite:
20-30µm FWHM (Gaussprofil)
Homogenität:
p2p ≤6% best focus
Energiedichte:
490mJ/cm² @ 20µm FWHM; ≥320mJ/cm² @ 30µm FWHM

Pulslänge:
15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden
Repetitionsrate:
10kHz

Laser:
2x TruMicro 7370, Trumpf Lasertechnik, Germany

Diagnostik:
Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage.
Kunden Support Center Deutschland für:
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Korea 431-803
© 2003 - 2018 INNOVAVENT Laseroptics
29.11.2018
USA, Kanada, Asien
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37077 Göttingen, Germany
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611 West Tower
Kanagawa Science Park, West
3-2-1 Sakato Taksutu Kawasaki
Kanagawa, Japan 213-0012
Tel: +81 44 812 5911
Fax: +81 44 812 5921
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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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