INNOVAVENT Laseroptics - Laserverfahren - | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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Laserverfahren für Annealing, Kristallisation,
Aktivierung von Dotierungen und Lift-Off

Solid State Laser Annealing, Crystallization, Dopant Activation and Lift-Off
Innovavent Laser Optics
Die  INNOVAVENT GmbH ist auf die Entwicklung und Herstellung
von Laser-Optik-Systemen spezialisiert, die von Integratoren in
Fertigungsanlagen eingebaut werden.
Insbesondere hat sich die INNOVAVENT von Beginn an auf thermische Prozesse in der Halbleiterfertigung und Herstellung von LCD und OLED Displays konzentriert. Dabei spielt die Kristallisation von amorphen Si Schichten, die zur Herstellung von Dünnschichttransistoren benötigt werden, die zentrale Rolle.
LCD und OLED Flachbildschirm Dünnfilmtransistor Kristallisation
Kristallisationsprozesse (aus der Flüssigphase und Festphase) von a-Si Schichten sind von großer Bedeutung für die Herstellung von LCD und OLED Flachbildschirmen.

Laser-Lift-Off

Die Herstellung von flexiblen OLED Displays auf Polymerfolien nutzt das Laser-Lift-Off-Verfahren. Festkörper-UV-Laser und optische Systeme VOLCANO UV von INNOVAVENT ermöglichen den Bau von zuverlässigen und kosteneffizienten Produktionsanlagen für Laser-Lift-Off (LLO) bzw. UV Laser Peeling (ULP).
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© 2003 - 2018 INNOVAVENT Laseroptics
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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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