VOLCANO® 300UV Laser Optik
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Laser-Optik-System für eine Laserlinie bis 300mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern
Das VOLCANO® 300UV Laser-Optik-System ist auf einer soliden Granitstruktur aufgebaut. Mehrere Laserstrahlen können kombiniert werden, um die Linienlänge und Energiedichte zu erhöhen. Die Strahlen werden unabhängig voneinander verarbeitet und in einem speziellen Homogenisierer überlagert. Die kombinierten Strahlen werden zu einer Linie von bis 300mm Länge homogenisiert mit einer Breite von 20-30µm FWHM. Das FALCON 300UV Objektiv erzeugt eine gleichmäßige Linienbreite über die gesamte Länge, die für die Massenproduktion unverzichtbar ist.
Anwendungsgebiete
Laser-Lift-Off-Verfahren werden in der Elektronikindustrie für die Herstellung flexibler und leichter OLED Displays für Fernsehbildschirme, Smartphones, Smartwatches und Tablet-Computer eingesetzt. Das OLED Display wird auf einer Polymerfolie, die auf ein Glassubstrat aufgeklebt ist, hergestellt. Das fertige Display auf der Polymerfolie wird mit dem UV-Laserstrahl vom Glassubstrat gelöst.
Technische Daten: VOLCANO® 300UV - 8320 | ||
Wellenlänge: | 343 nm | |
Linienlänge: | 300mm (top-hat-Profil) | |
Linienbreite: | 20µm FWHM (Gaussprofil) | |
Homogenität: | p2p ≤6% best focus | |
DoF | ≥140µm for p2p ≤10% | |
Energiedichte: | ≥230mJ/cm² @ 20µm FWHM | |
Pulslänge: | 15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden | |
Repetitionsrate: | 10kHz | |
Laser: | TruMicro 8320, Trumpf Lasertechnik, Germany | |
Diagnostik: | Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode |
Technische Daten: VOLCANO® 300UV - 8340 | ||
Wellenlänge: | 343 nm | |
Linienlänge: | 300mm (top-hat-Profil) | |
Linienbreite: | 30µm FWHM (Gaussprofil) | |
Homogenität: | p2p ≤6% best focus | |
DoF | ≥300µm for p2p ≤10% | |
Energiedichte: | ≥310mJ/cm² @ 30µm FWHM | |
Pulslänge: | 15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden | |
Repetitionsrate: | 10kHz | |
Laser: | TruMicro 8340, Trumpf Lasertechnik, Germany | |
Diagnostik: | Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode | |
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage. |