VOLCANO® 300UV Laser Optik - INNOVAVENT | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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VOLCANO® 300UV Laser Optik

Systeme > Laser-Lift-Off

Laser-Optik-System für eine Laserlinie bis 300mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern
 
 
Das VOLCANO®  300UV Laser-Optik-System ist auf einer soliden Granitstruktur aufgebaut. Mehrere Laserstrahlen können kombiniert werden, um die Linienlänge und Energiedichte zu erhöhen. Die Strahlen werden unabhängig voneinander verarbeitet und in einem speziellen Homogenisierer überlagert. Die kombinierten Strahlen werden zu einer Linie von bis 300mm Länge homogenisiert mit einer Breite von 20-30µm FWHM. Das FALCON 300UV Objektiv erzeugt eine gleichmäßige Linienbreite über die gesamte Länge, die für die Massenproduktion unverzichtbar ist.

Anwendungsgebiete

Laser-Lift-Off-Verfahren werden in der Elektronikindustrie für die Herstellung flexibler und leichter OLED Displays für Fernsehbildschirme, Smartphones, Smartwatches und Tablet-Computer eingesetzt. Das OLED Display  wird auf einer Polymerfolie, die auf ein Glassubstrat aufgeklebt ist, hergestellt. Das fertige Display auf der Polymerfolie wird mit dem UV-Laserstrahl vom Glassubstrat gelöst.

VOLCANO 300UV Laser Optik mit 2x TruMicro 8320 UV Festkörperlaser
Profil einer 300mm langen Linie
20µm FWHM Profil der kleinen Strahlachse
Technische Daten: VOLCANO® 300UV - 8320
Wellenlänge:
343 nm
Linienlänge:
300mm (top-hat-Profil)
Linienbreite:
20µm FWHM (Gaussprofil)
Homogenität:
p2p ≤6% best focus

DoF
≥140µm for p2p ≤10%
Energiedichte:
≥230mJ/cm² @ 20µm FWHM

Pulslänge:
15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden
Repetitionsrate:
10kHz

Laser:
TruMicro 8320, Trumpf Lasertechnik, Germany

Diagnostik:
Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode
Technische Daten: VOLCANO® 300UV - 8340
Wellenlänge:
343 nm
Linienlänge:
300mm (top-hat-Profil)
Linienbreite:
30µm FWHM (Gaussprofil)
Homogenität:
p2p ≤6% best focus

DoF
≥300µm for p2p ≤10%
Energiedichte:
≥310mJ/cm² @ 30µm FWHM

Pulslänge:
15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden
Repetitionsrate:
10kHz

Laser:
TruMicro 8340, Trumpf Lasertechnik, Germany

Diagnostik:
Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage.
Kunden Support Center Deutschland für:
EO Technics Co., Ltd. 91 Dongyeonro Anyang,
Korea 431-803
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Fax: +81 44 812 5921
www.optopia.co.jp


Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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Last Update: 03.12.2019
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