VOLCANO® 250UV Laser Optik
Systeme > Laser-Lift-Off
Laser-Optik-System für eine Laserlinie bis 250mm Länge mit gepulsten UV-Festkörperlasern
Das VOLCANO® 250UV Laser-Optik-System ist auf einer soliden Granitstruktur aufgebaut. Mehrere Laserstrahlen können kombiniert werden, um die Linienlänge und Energiedichte zu erhöhen. Die Strahlen werden unabhängig voneinander verarbeitet und in einem speziellen Homogenisierer überlagert. Die kombinierten Strahlen werden zu einer Linie von bis 250mm Länge homogenisiert mit einer Breite von 20-30µm FWHM. Das FALCON 250UV Objektiv erzeugt eine gleichmäßige Linienbreite über die gesamte Länge die für die Massenproduktion unverzichtbar ist.
Anwendungsgebiete
Laser-Lift-Off-Verfahren werden in der
Elektronikindustrie für die Herstellung flexibler und leichter OLED Displays
für Fernsehbildschirme, Smartphones, Smartwatches und Tablet-Computer
eingesetzt. Das OLED Display wird auf
einer Polymerfolie, die auf ein Glassubstrat aufgeklebt ist, hergestellt. Das
fertige Display auf der Polymerfolie wird mit dem UV-Laserstrahl vom
Glassubstrat gelöst.
Technische Daten: VOLCANO® 250UV-2 | ||
Wellenlänge: | 343 nm | |
Linienlänge: | 250mm (top-hat-Profil) | |
Linienbreite: | 20-30µm FWHM (Gaussprofil) | |
Homogenität: | p2p ≤6% best focus | |
Energiedichte: | ≥490mJ/cm² @ 20µm FWHM; ≥320mJ/cm² @ 30µm FWHM | |
Pulslänge: | 15-20ns FWHM, kann durch verzögertes Triggern der zwei Laserquellen vergrößert werden | |
Repetitionsrate: | 10kHz | |
Laser: | 2x TruMicro 7370, Trumpf Lasertechnik, Germany | |
Diagnostik: | Laserleistung, Leistung am Substrat, Strahlprofilmessung am Substrat, schnelle Photodiode | |
Andere Liniengrößen und Konfigurationen auf Anfrage. |