INNOVAVENT Laseroptics - Laserverfahren - INNOVAVENT | Annealing | Lift-Off | Kristallisation |

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INNOVAVENT   Laser – Optik – Systeme
für Laser Lift-Off, Annealing, Kristallisation, Aktivierung von Dotierungen, Herstellung von Ohmschen Kontakten in und auf Halbleitern und mehr……. sind modular aufgebaut und mit Anwendern und System-Integratoren entwickelt worden.
Die Schlüssel-Kompentenz ist die Realisierung von homogenenen Laser Linien und anderen geometrischen Konfigurationen mit kohärenter Laserstrahlung. Die Produktpalette umfasst Low Budget Laser Systeme bis zu anspruchsvollen Linienstrahlsystemen, die Laser, Homogenisieroptik, Abbidungslinsen und Strahldiagnostik enthalten.
Regelmäßige p-Si Struktur erzeugt mit UV-SLA
(Solid State Laser Annealing).
FLATTOP Profil mit <10µm 90/10% Flanken.
We Make SLA Available
SLA (Solid State Laser Annealing) mit doppelter Scangeschwindigkeit im Vergleich zu ELA (Excimer Laser Annealing)
SLA realisiert die perfekte Kristallisation von dünnen a-Si-Schichten  für Flexible OLED Displays. OLED Displays nutzen die Erzeugung gleichmäßiger p-Si Strukturen durch Laser-Annealing für den Aufbau der Dünnfilmtransistoren zur präzisen Steuerung der OLED Pixel. Der SLA Prozeß stellt die Umwandlung des a-Si Dünnfilms in die regelmäßige p-Si-Struktur sicher mit Hilfe der INNOVAVENT Line Beam Optik  unter Verwendung von mehreren standard TM 8340 (Trumpf Lasetechnik, Deutschland) gepulsten 343nm Festkörperlasern und führt zu einer Betriebskostenreduktion bei doppelter Scan Geschwindingkeit im Vergleich zum alternativ verwendeten ELA-Prozeß.


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Letzte Aktualisierung: 05.11.2016
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Last Update: 22.01.2021
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