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Laser-Lift-Off

Systeme > Laser-Lift-Off

Laser-Lift-Off
 
Die Herstellung von flexiblen OLED Displays auf Polymerfolien nutzt das Laser-Lift-Off-Verfahren. Festkörper-UV-Laser und optische Systeme VOLCANO UV von INNOVAVENT ermöglichen den Bau von zuverlässigen und kosteneffizienten Produktionsanlagen für Laser-Lift-Off (LLO) bzw. UV Laser Peeling (ULP).
 
Das OLED-Display wird auf einer Polymerfolie hergestellt. Diese Polymerfolie ist während des Herstellungsprozesses auf ein Glassubstrat aufgeklebt. Nach der Herstellung des Displays wird die Polymerfolie vom Glassubstrat mit dem Laser Lift Off-Verfahren gelöst. Das LLO-Verfahren verwendet eine 343nm oder 355nm Laserlinie, die das Glassubstrat (typisch 0,5mm dick) ohne Abschwächung durchdringt und in einer „Opferschicht“ (z. B. 50-60nm a-Si) oder vom Polymer am Glasinterface absorbiert wird. Der gepulste Energieeintrag führt zum Ablösen des Polymerfilms ohne das OLED-Display zu beschädigen. Das Substrat wird durch die Laserlinie hindurchgefahren und vollständig vom Glasträger gelöst.

Die Glassubstrate haben die Größe von mobilen Displays (Verwendung von 100mm langen Linien) und bis zu Gen 6 (1500mm x 1850mm).

VOLCANO UV Laser Optik erzeugt eine Laserlinie von 100mm bis 750mm Länge und 20-30µm FWHM Breite. Die Linie wird bei Energiedichten von 150….500mJ/cm2 mit einem Vorschub von 10-20µm pro Puls (Vorschubgeschwindigkeit 100-200mm/s bei 10 kHz Laserpuls Wiederholrate) durch das Glas auf das aufgeklebte Kunststoffsubstrat (PI=Polyimid) fokussiert. Die verwendeten TruMicro 7370 UV Festkörperlaser emittieren 15-20ns Pulse bei 10 kHz Repetitionsrate und erlauben bei niedrigen Energiedichten (ab 150mJ/cm2) ein sicheres und sehr effizientes Lift-Off-Verfahren. Bei Verwendung einer a-Si Opferschicht werden höhere Energiedichten benötigt bis zu 500mJ/cm2.
Gauss’sches Profil in der kleinen Achse der Laserlinie
Strahlprofil über 250mm der Laserlinie, p2p<=5%


Laser-Optik für Laser-Lift-Off-Prozesse


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